應用領(lǐng)域：納米級精度要求旋轉運動(dòng)場(chǎng)合

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.非接觸式氣浮軸承，無(wú)磨損

2.軸跳和端跳，可達±0.1 μm, 擺角角度±2μrad? ? ??

3.Pich、Yaw可達±2 arc sec內

4.高重復和定位精度，重復定位精度可達±0.4μrad?

5.高運行平穩性

6.可采用鋁合金、大理石、碳化硅等多種方案定制