應用領(lǐng)域：納米級精度要求單軸和多軸復合運動(dòng)場(chǎng)合

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.非接觸式氣浮導軌，無(wú)磨損

2.直線(xiàn)度、平面度相比機械式有質(zhì)的提升，可達0.7 μm 內?

3.Pich、Yaw可達±2 arc sec內

4.高重復和定位精度，重復定位精度可達±0.1 μm? ? ??

5.高運行平穩性，速度波動(dòng)可達0.1%

6.可采用鋁合金、大理石、碳化硅等多種方案定制? ? ??

7.結構定制，客制化程度高